超纯水一般是指电阻率达到18 MΩ*cm（25℃）的水。超纯水设备一般是由RO+EDI膜块等核心部件组成，水处理的纯度越高需要的部件越精密。
一套高端的超纯水设备一般配件包括：
RO反渗透系统
其中主要包括阻垢剂加药装置，精密过滤器 ，高压泵，反渗透膜壳，反渗透膜，高、低压保护开关，管道流量计，进水电动慢开阀，冲洗电动阀，管路阀门系统，电导率仪，低压电器件，设备机架。
EDI模块
EDI模块由阴/阳电极板、阴/阳离子交换膜、阴/阳离子交换树脂、浓水室流道、淡水室流道和极水室流道六部分组成。EDI去除水中盐分主要分为强电离性离子迁移时段(高盐分区域)和弱电离性物质电离时段(低盐分区域)两个阶段。
